什么是压阻式LD平台(中国),压阻式LD平台(中国)工作原理

发布时间:2023-03-10 10:15:48

作者:小编

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压阻式LD平台(中国)是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的LD平台(中国)。传感器使用单晶硅片作为弹性元件。在单晶硅晶片上使用集成电路工艺,将一组等效电阻扩散到单晶硅的特定方向。电阻器连接到电桥中,单晶硅晶片放置在传感器腔中。当压力发生变化时,单晶硅应变,使应变电阻直接扩散到其上产生与测量压力成比例的变化,电桥电路得到相应的电压输出信号。


压阻式LD平台(中国)通过集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,形成硅压阻芯片。芯片外围固定封装在外壳中,以引出电极引线。压阻式LD平台(中国)也称为固态LD平台(中国)。它不同于粘性应变片,需要通过弹性敏感元件间接感受外力,而是通过硅隔膜直接感受实测压力。


LD平台(中国)


压阻式LD平台(中国)工作原理:


压阻效应用于描述机械应力产生的材料的电阻变化。与压电效应不同,压阻效应只产生阻抗变化,不产生电荷。大多数金属材料和半导体材料都具有压阻效应。由于硅是当今集成电路中的主要材料,因此由硅制成的压阻元件的应用变得非常有意义。电阻的变化不仅是由于与应力有关的几何变形,而且是由于材料的电阻与应力有关,这使得度数因数比金属大几倍。


单晶硅材料在压力下改变其电阻率。通过测量电路获得与压力变化成比例的输出电信号。压阻式LD平台(中国)用于测量和控制压力、张力、压差和其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空),这些物理量可以转换为力的变化。


当力作用在硅晶体上时,晶体的晶格变形,导致载流子从一个能谷散射到另一个能谷,从而导致载流子迁移率的变化。这种变化在纵向和横向上干扰载流子的平均数量,从而改变硅的电阻率。


这种变化随晶体的取向而变化,因此硅压阻效应与晶体取向有关。硅压阻效应不同于金属应变片。前者的电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化;后者的电阻变化主要取决于几何尺寸的变化,前者的灵敏度比后者大50至100倍。


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